多弧离子镀主要是借助惰性气体的辉光放电作用，使得靶材离化，在带负电荷的工件表面形成薄膜。
负偏压可以提高入射粒子的速度，增加膜基结合力
纳米多层结构涂层曾为提高图层质量的新途径。通常将调制周期小于100nm的薄膜叫做纳米复合薄膜。
小的调制周期可以在不改变涂层成分的情况下，迅速提高涂层的硬度。同时多层结构带来的内应力大幅增加，降低了膜层的结合力。
对于TiN单项膜层，N：Ti化学计量比大于1时膜层具有较低的硬度，N:Ti小于1时膜层的硬度较高。但此处所说的大于或者小于1是对于小范围内而言的，过高或者过低的比例都会造成膜层性能下降。
涂层的腐蚀主要是从涂层中的缺陷处开始的，通过缺陷部位进入到涂层内部。所以，通过减少涂层缺陷的方式能够有效的提高涂层的耐腐蚀性能。
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