外形尺寸2000 x 3350 x 2200 (W x L x H) [mm]
有效涂层区域Ø800 x 1000(Ø x h) [mm]
最大装载量Ø800 x 900(Ø x h) [mm]
沉积速度3µm/h
一机多工艺
模块化定制设计,结构合理的腔体能够兼容PVD或PACVD等多种沉积技术,灵活实现多种工艺的组合,实现硬质和超高硬质涂层的沉积,同时也可使用于高端高品质的装饰涂层。
客户工艺定制
根据客户需求,运用沉积技术组合,开发特定涂层结构,实现定制化性能。设备配套工艺组成完整解决方案,缩短产品投放市场时间。
快速故障处理
具备远程设备故障诊断能力,实现快速故障排查,工艺调整。有效提高设备整体在用时间,保证批量生产效率,产品稳定性。
良好的扩展性
炉体机构设计保证上下架空间宽大,方便全自动改造。标准数字化接口方便实现全工艺流程系统化管控,工艺过程追踪。模块化接口保证未来低成本工艺升级改造。
Gingko-2020多弧溅射系统性能参数
- 有效涂层区域 (Ø x h) [mm]: Ø800 x 1000
- 转台 Ø x Ø 行星轮 x 数量 [mm、个];Ø800 x Ø135 x 12
- 快速更换转台: 可选
- 溅射阴极 [mm]: 12 x 100
- 最大装载尺寸 (Ø x h) [mm]: Ø800 x 900
- 钻头装载量 (Ø6 mm x 60 mm) [支]: 3360
- 刀片装载量 (Ø16 mm x 5 mm) [片]: 7200 最大
- 装载重量 [kg]: 800
Ridge-DLC系统性能参数
- 有效涂层区域 (Ø x h) [mm]: Ø800 x 1000
- 转台Ø x Ø 行星轮x数量 [mm、个]: Ø800 x Ø135 x 12
- 快速更换转台: 可选
- 溅射阴极 [mm]: 12 x 100
- 最大装载尺寸 (Ø x h) [mm]: Ø800 x 900
- 钻头装载量 (Ø6 mm x 60 mm) [支]: 3360
- 刀片装载量 (Ø16 mm x 5 mm) [片]: 7200 最大
- 装载重量 [kg]: 800
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