溅射靶材是利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料。
作为涂层工艺必须的前后表面处理:喷砂工艺和清洗工艺,事实上也在不断的进步和发展中,我们的前后处理设备紧跟时代发展的步伐,改进设备,运用效率更高的沙料回收技术,减少沙料的损失。同时改进运用处理效率更高的沙料实现特殊功能。
在开发涂层技术和涂层产品的过程中,我们深刻领悟到除涂层设备本身,靶材的开发和前后处理技术不断改进同样能有力地推动涂层质量的提升。在涂层技术开发的早期阶段,我们坚持发展出了自己的靶材开发和生产能力,这让我们在跟进国际最新涂层进展时拥有了很大的自主权。因而,不只是高质量的标准靶材,对于运用于特殊工艺的特种靶材我们同样是您最好的合作者。
管型靶材
平型靶材
铝 Al
钛硅 TiSi
钛铝 TiAl
铝铬 AlCr
铝/鉻 Cr
碳化鎢 WC
主要指標:
- 密度[g/cm3]: > 2,69
- 纯度[%]: > 99,999(5N)
- 硬度[HV1] 16
- 导热系数[W/(m·K)]: 237
主要指標:
- 钛/硅含量[at%]: 85/15 80/20
- 纯度[%]: 99.8 99.8
- 保证密度[g/cm3]: 4.42 4.38
- 标准/细粒度[μm]: 100 100
主要指標:
- 钛/铝含量[at%]: 30/70 33/67 50/50
- 纯度[%]: 99.7 99.7 99.7
- 保证密度[g/cm3]: 3.20 3.26 3.56
- 标准/细粒度[μm]: 100/50 100/50 100/50
- 导热系数[W/(m·K)]: – 102 61
- 热膨胀系数[1/K]: – 18·10-6 16·10-6
主要指標:
- 铝/铬含量[at%]: 70/30 50/50
- 纯度[%]: 99.7 99.7
- 保证密度[g/cm3]: 3.67 4.49
- 标准/细粒度[μm]: 100/50 100/50
主要指標:
- 纯度[%]: 99.9 99.7
- 铁杂志[μg/ g]: 300 1500
- 硅雜質[μg/ g]: 100 500
- 其他雜質[μg/ g]: 150 400
- O雜質[μg/ g]: 300 1000
- N雜質[μg/ g]: 200 200
- C雜質[μg/ g]: 100 300
- 保證密度[g/cm3]: 7.12 7.12
- 標準/細粒度[μm]: 100/50 100/50
- 導熱係數[W/(m·K)]: max.250 max.150
- 熱膨脹係數[1/K]: 7·10-6 7·10-6
主要指標:
- 純度[%]: 99.9
- 保證密度[g/cm3]: 15.50
- 標準/細粒度[μm]: 2
- 導熱係數[W/(m·K)]: 120
- 熱膨脹係數[1/K]: 4,3·10-6
前后表面处理的主要用途为:去除刀具表面氧化皮、去除刀具在加工过程中的部分应力、坑状表面有利于提高涂层结合力、刀具刃口的微钝化。这里我们认为刀具刃口的微钝化,才是提高刀具使用寿命最主要的原因。
进行前后处理的区别
未进行涂层前处理
刀具前处理的主要用途为:去除刀具表面氧化皮、去除刀具在加工过程中的部分应力、坑状表面有利于提高涂层结合力、刀具刃口的微钝化。刀具刃口的微钝化,才是提高刀具使用寿命最主要的原因。
已经过涂层前处理
实践表明,钝化不仅仅是简单的倒圆角,还包括对钝化处理完成时钝化圆弧半径,圆弧向前刀面或者后刀面倾斜对实际加工的使用寿命和最终加工质量都影响巨大。显示出为了保证最终刀具的质量,处理刃口那十到几十微米圆弧形貌可重复的精确控制是非常重要的。
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