1，辉光清洗(溅射镀膜)
工件上加载负偏压，利用辉光放电产生的氩离子轰击清洗基片。
2，电子束辅助清洗(热阴极离子镀)
利用外加电子束轰击辅助阳极，在此过程中等离子体碰撞，产生大量氩离子。轰击基片溅射清洗
3，金属离子轰击清洗(电弧离子镀)
利用电弧产生的金属离子轰击工件，对基片进行离子轰击溅射清洗，同时能够一定程度的加热工件。
如有疑问 请联系成都极星等离子科技有限公司
凡注明来源本网的所有作品，均为本网合法拥有版权或有权使用的作品，欢迎转载，注明出处。非本网作品均来自互联网，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。