1，通过有效的冷却或再阴极表面增加磁场强度，使阴极斑快速运动来降低阴极斑的温度，从而降低大颗粒的产生率。
(1)小圆弧
增加靶的直径，提高冷却效率
(2)矩形平面弧
增大阴极面积，加长弧斑运动轨迹，提高冷却效率
(3)柱状弧
电弧工作的同时，旋转靶管，使得靶材充分冷却
2，用聚焦磁场对阴极产生的等离子体进行压缩，提高等离子体的密度，降低大颗粒在沉积中所占比例。
3，利用等离子体的绕射能力，用几何方法将大颗粒屏蔽。使其不能到达基片，等离子体可通过绕射到达基材。
4，磁过滤。用弯曲磁场（磁过滤管）将等离子体偏转一定的角度，从而过滤掉大颗粒。
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