一、 真空的基本知识
1、 真空的概念：
“真空”是指在给定空间内低于一个大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。不同的真空状态，就意味着该空间具有不同的分子密度。在标准状态（STP：即0℃，101325Pa，也就是1标准大气压，760Torr）下，气体的分子密度为2.68E24/m3，而在真空度为1.33E-4 Pa（1E-6Torr）时，气体的分子密度只有3.24E16/m3。
完全没有气体的空间状态为绝对真空。绝对真空实际上是不存在的。
2、真空的单位：
依据真空概念，低于一个大气压的气体状态称为真空。真空度愈高，压强愈低，所以用气体压强表示真空度。
| 标准大气压 | 托 | 帕 | |
| 1 标准大气压(atm) | 1 | 760 | 1.0133×105 |
| 1 托(Torr) (1 毫米汞柱） | 1.3158×10-3 | 1 | 133.32 |
| 1 帕(pa) （1 牛顿/米2） | 9.8692×10-6 | 7.5008×10-3 | 1 |
3、真空的划分：
粗真空 760Torr~10E-3Torr
高真空 10E-4Torr~10E-8Torr
超高真空 10E-9~10E-12 Torr
极高真空 <10E-12Torr
4、流导（导通量）：表示真空管道通过气体的能力，单位为升/秒（L/S）。一般情况下，管道越短，直径越大，表面越光滑，越直的管道流导也越大。
5、流量：单位时间内流过任意截面的气体量，单位为Torr·L/s或Pa·L/s。
6、抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。单位一般为L/S或m3/hr或CFM。
7、极限真空：真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
8、真空的获得：（真空泵）
A、粗真空泵：一般用于抽粗真空，有油泵和 干泵。从结构上可分几种：
旋转叶片泵：油泵，极限真空可达10-3Torr，抽速1~650CFM
隔膜泵：干泵，极限真空1Torr左右，抽速<10CFM
往复式活塞泵：干泵，极限真空10-2Torr，抽速6~32CFM
涡旋式真空泵：干泵，极限真空10-2Torr，抽速12~25CFM
螺旋泵：干泵，极限真空10-3Torr，抽速30~318CFM
B、涡轮分子泵：主要用于高真空或超高真空，属于干泵，极限真空10-7~10-8Torr，烘烤后可到10-10Torr，抽速可从50L/S~3500L/S。
分子泵是靠高速转动的涡轮转子携带气体分子而获得高真空、超高真空的一种机械真空泵。
泵的转速为10000转/分到50000转/分，这种泵的抽速范围很宽，但不能直接对大气排气，需要配置前级泵。分子泵抽速与被抽气体的种类有关，如对氢的抽速比对空气的抽速大20%。
C、低温泵：主要用于高真空或超高真空，属于干泵，工作方式为气体捕集。极限真空-6~-9Torr。
用低温介质将抽气面冷却到20K 以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽气作用。这种用低温表面将气体冷凝而达到抽气目的的泵叫做低温泵，或称冷凝泵。
D、离子泵：主要用于超高真空，属于干泵，工作方式为气体捕集。极限真空-6~-11Torr。
E、钛升华泵：主要用于超高真空，属于干泵，工作方式为气体捕集。
9、真空的测量（真空计）
A、热偶规、皮拉尼规、对流规：
用来测粗真空的真空计，从大气到1E-5Torr，精度一般在10%，皮拉尼规精度高的可到5%, 反应较慢，受温度变化的影响较大。
B、离子规：
用来测高真空或超高真空的真空计，热灯丝的离子规测量范围一般从1E-4到1E-9Torr，特殊的有些甚至可以低到-10甚至-11Torr，精度在10%~20%，灯丝在工作时遇到大气会烧毁；冷阴极的离子规一般可以测到1E-11Torr，精度在20%~50%，特别是超高真空下测量精度很差，需要高压电源，探头内有磁铁，使用时不能用于某些无磁的场合。
C、电容式压力计：
探头最大压力从25000Torr到0.1Torr，动态范围大约104范围，比如，1Torr量程的最低是5E-4Torr，通常精度在读数的0.25%，可以高到0.15%。
D、宽量程真空计：
皮拉尼规和热灯丝离子规的组合，两个规可以自动切换，在低真空时切换到皮拉尼规，高真空时可切换到离子规。
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