做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检测；需要扫描电镜、ICP、激光粒度仪、费氏粒度仪、金相显微镜及其制样设备等进行化学成份分析、金相分析、粉末粒度分析甚至织构分析。然后还需要各种车铣磨床进行机加工；最后还需要绑定设备和真空无尘包装车间和设备进行靶材包装。非金属的靶材则需要相应的烧结炉。剩下的其他设备和金属靶材的相同。
难熔金属靶材如钨钼钽铌等一般都用烧结方法制坯而不用熔铸法制坯。一是熔点高且易氧化，对炉子的要求高，需要真空电子束熔炼设备；二是熔铸锭坯的晶粒太粗大，必须先用挤压法开坯，然后才能进行锻轧成型处理。
有些烧结炉的气氛不一样，不一定能够通用。比如，烧结钨钼的是真空或氢气气氛的最高2200度的烧结炉，而烧结ITO陶瓷靶材的是纯氧气气氛下1500度的烧结炉，而烧结AZO陶瓷的是大气气氛下的窑式连续式烧结炉。
若是铝合金或铜合金靶材的话一般就采用真空熔炼与真空铸造的方式制坯了。而像钛合金的话目前一般就是真空电子束熔炼炉冶炼铸造制坯了。另外，钨钼旋转靶也有用热等静压烧结的或热挤压成型的，但一般的以锻造和轧制最为常见。
一般的陶瓷粉末烧结之前要进行造粒和成型，然后才能进行烧结。以烧结AZO靶材为例，可能需要喷雾干燥器、球磨机、压力机和钢模具、冷等静压机和橡胶模具等。而以ITO陶瓷靶材为例则可能需要石膏模具、浆料搅拌器等。
一般的陶瓷粉末烧结之前要进行造粒和成型，然后才能进行烧结。以烧结AZO靶材为例，可能需要喷雾干燥器、球磨机、压力机和钢模具、冷等静压机和橡胶模具等。而以ITO陶瓷靶材为例则可能需要石膏模具、浆料搅拌器等。
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