磁控溅射金属靶时，无法起辉的原因有很多，常见主要原原因有：
1. 靶材安装准确否?
2. 靶材表面是否干净————金属靶表面氧化或有不清洁物质，打磨清理干净后即可
3. 起辉电源是否正常————检查靶电源
4. 靶与地线之间短路
———-关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下；
———-压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。
5. 永磁靶表面场强是否下降太多？
———如果下降太多，需要更换磁钢。
6. 起辉溅射真空度与前次的差别？
———更换不同的靶材，起辉压强不尽相同。
换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉
如有疑问 请联系成都极星等离子科技有限公司
凡注明来源本网的所有作品，均为本网合法拥有版权或有权使用的作品，欢迎转载，注明出处。非本网作品均来自互联网，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。