要在与有机材料薄膜蒸镀室相隔绝的真空腔室中进行。由于金属电极多使用低功函数的活泼金属，在有机材料薄膜蒸镀沉积工艺结束后，不要让带有有机材料薄膜的基板暴露在空气中，将其移至金属电极蒸镀室。
常用的金属电极有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、LiF /Al 等， Mg/Ag要采用共蒸发法形成薄膜，其他采用分层蒸发法，一般金属材料的气化温度在450℃-1200℃高温下，所以要防止金属蒸发源热辐射对基板上的有机材料薄膜的不良影响，将基板温度控制在80℃以下。
对于合金金属电极要进行蒸镀后处理，在合金金属电极膜上面再镀上一层惰性金属膜，如Mg:Ag(10:1)合金上镀上一层银保护层，使其成为Mg:Ag /Ag，对于Li/Al 就成了Li: Al /Al。
在蒸镀有机材料薄膜和金属薄膜时要维持10⁻⁵帕以上的真空度，否则会影响有机材料薄膜和金属薄膜的质量和器件的寿命。
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